按照北海层流手术室净化洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。1）不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室（区）之间的静压差，应不小于5Pa。2）层流手术室净化工程洁净室（区）与室外的静压差，不应小于 10Pa。3）对于空气洁净度等级严于 5 级（100 级）的单向流洁净室在开门时，门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。4）若达不到以上标准的要求，应重新调整新风量、排风量、至合格为止。

北海层流手术室净化无尘净化车间的温湿度主要是依据您的加工工艺请求来肯定，在满足加工工艺的条件下，必选应该思索人的温馨感。随着空气干净度请求的进步，工艺对温湿度的请求也越来越高，必需到达一定的温湿度等级。例如在大范围集成电路消费的光刻曝光工艺中，作为掩膜板资料的玻璃与硅片的热收缩系数的差请求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就惹起了0.24um线性收缩，所以必需有±0.1度的恒温，同时请求湿度值普通较低，由于人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，优质层流手术室净化这种车间不宜超越25度。　湿渡过高产生的问题更多。相对湿度超越55%时，冷却水管壁上会结露，假如发作在精细安装或电路中，就会惹起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。

电子厂净化车间（洁净室）是优质层流手术室净化工程洁净度等级在10万级尺度以上的洁净工程车间，首要按捺空气浮尘微粒对工作上对象的空气污染，内部必需保持正压状态。北海层流手术室净化电子厂净化车间合用于电子、微电子、半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造等，主要运用在精密仪器、手机背光源、芯片出产、集成电路、磁盘制造车间、显示屏等行业。

A、北海层流手术室净化室内测试人员必须穿洁净服，不得超过2人，应位于测试点下风侧并远离测试点，并应保持静止。进行换点操作时动作要轻，应减少人员对室内洁净度的干扰。B、设备要在校准期内使用。C、优质层流手术室净化检测前和检测后设备“清零”D、在单向流区域，所选择的采样探头应接近等动力采样，进入采样探头的风速与被采空气的风速偏差不应超过20%。若无法做到这一点，将采样口正对气流的主方向。非单向流的采样点，采样口应竖直向上。E、采样口至粒子计数器传感器的连接管应尽量短。采样点一般离地面0.8-1.2m左右，要均匀科学布点，而且要避开回风口。对任何小洁净室或局部空气净化区域，采样点的数目都不得少于2个，总采样数可根据面积开2次根求得。

北海层流手术室净化洁净室主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例，优质层流手术室净化无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非 常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的 负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。

优质层流手术室净化洁净室内的气流是左右洁净室性能的重要因素，一般洁净室的气流速度是选0.25~0.5m/s之间，优质层流手术室净化工程此气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高，将影响运转成本的增加，所以应在满足要求的洁净度水准之时，能以适当的风速供应，以达到适当的风速供应以达到经济性效果。